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本发明是关于一种具有载具定向机制的湿制程机台，包括主体、载具及导向构件，主体具有载具移动通道；载具包括外框及内环框，外框间隔设置有数个滚轮，内环框可旋转性地设置在各滚轮之间，且内环框包括环形体及固定在环形体的受导构件，环形体具有基板夹固区；...
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