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本发明属于芯片生产技术领域，公开了一种键合头及芯片键合设备，该键合头包括基础件、承载件、调节组件、波纹管、动力件以及吸附件。本发明中的波纹管是一种弹性机构，如果基板或芯片厚度过大，波纹管会被压缩，而该部分压缩所导致的压力是可以忽略不计的，从...
该专利属于盛吉盛智能装备（江苏）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盛吉盛智能装备（江苏）有限公司授权不得商用。

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