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本公开提供了一种测量微纳器件尺寸的方法、装置、设备及存储介质，可以应用于计算机技术领域、图像处理技术领域、精密测量技术领域和微纳加工与表征技术领域。该方法包括：从第一数字图像中截取目标区域，其中，目标区域包括至少两条相互平行的微纳器件的边缘...
该专利属于中国科学技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学技术大学授权不得商用。

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