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本发明公开了一种稀土离子掺杂ITO靶材的制备方法，属于ITO靶材技术领域，所述稀土离子掺杂ITO靶材的制备方法，包括以下步骤：将氯化镧溶解得到溶液A，低渗电炉升温后滴加蒸馏水，之后迅速放入钛酸钡粉体，同时滴加溶液A，冷却得到钛酸钡‑镧离子粉...
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