下载一种谐振压力传感器的技术资料

文档序号:40018443

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本发明公开了一种谐振压力传感器,包括一气路接头,所述气路接头用于连接气管且所述气路接头上设置有通气孔,一隔离板,所述隔离板上设置有与所述通气孔连通的第一通孔结构,一压力芯体,一控制电路板,所述控制电路板用于所述压力芯体的谐振压力驱动、检测和...
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