下载一种利用气浮轴承气膜厚度变化称重的装置及方法的技术资料

文档序号:40009298

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本发明涉及精密测量设备技术领域,具体涉及一种利用气浮轴承气膜厚度变化称重的装置及方法,包括供气装置和测量装置,供气装置的首端为空气压缩机,供气装置的末端连通至止推气浮轴承;止推气浮轴承顶部可放置不同质量的砝码;气浮轴承顶部安装有激光位移传感...
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