下载一种晶圆传输标准机械接口装载装置的技术资料

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一种晶圆传输标准机械接口装载装置,包括支撑底座组件;解锁平移组件,设置在支撑底座组件内,用于解锁晶盒底座和晶盒外壳并固定晶盒底座;升降框组件,升降设置在解锁平移组件上方,升降框组件包括托举平台、旋转挡片和旋转气缸,旋转挡片转动设置在托举平台...
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