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一种晶圆传输标准机械接口装载装置制造方法及图纸
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下载一种晶圆传输标准机械接口装载装置的技术资料
文档序号:39961781
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一种晶圆传输标准机械接口装载装置,包括支撑底座组件;解锁平移组件,设置在支撑底座组件内,用于解锁晶盒底座和晶盒外壳并固定晶盒底座;升降框组件,升降设置在解锁平移组件上方,升降框组件包括托举平台、旋转挡片和旋转气缸,旋转挡片转动设置在托举平台...
该专利属于无锡卓海科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡卓海科技股份有限公司授权不得商用。
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