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本发明涉及一种用于分配至少一种固体前体的气相的设备，所述设备包括旨在容纳所述前体的固相(11)的器皿(1)、被配置成加热器皿(1)和/或固相(11)的至少一部分以便在器皿(1)中形成所述前体的气相(12)的第一加热装置(10)、以及流体连接...
该专利属于液化空气电子系统公司所有，仅供学习研究参考，未经过液化空气电子系统公司授权不得商用。

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