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一种多晶硅精馏工艺的物料综合处理系统技术方案
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文档序号:39948585
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本技术公开了一种多晶硅精馏工艺的物料综合处理系统,涉及多晶硅技术领域,包括缓存储罐和精馏塔,所述缓存储罐出料口通过输送泵与精馏塔物料进口相连,所述精馏塔的塔底出料口连接提纯塔,中部出料口连接三氯氢硅原料储罐,塔顶出料口连接反歧化原料罐。该系...
该专利属于四川永祥多晶硅有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四川永祥多晶硅有限公司授权不得商用。
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