温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供抗蚀油墨及通过抗蚀油墨的抗蚀图案形成方法。具体是通过具有适于反转印刷法形成细微抗蚀图案性质的抗蚀油墨以及通过该抗蚀油墨的抗蚀图案形成方法。抗蚀油墨，其含有由热熔融型树脂构成的树脂微粒，与不溶解该树脂微粒且能分散该树脂微粒的溶剂。该...
该专利属于株式会社日立制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立制作所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。