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本技术公开了一种光刻机镜头保护装置，涉及到光刻机技术领域，包括物镜镜头和开设在所述物镜镜头的侧壁上对称的一对销孔，所述物镜镜头外侧设置有保护罩，所述保护罩上设置有壳体，所述壳体内设置有隔板，将所述壳体分隔成两个腔室，其中一个腔室内设置有冷却...
该专利属于安徽国芯智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽国芯智能装备有限公司授权不得商用。

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