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基板处理系统和装置、半导体器件的制造方法及记录介质制造方法及图纸
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文档序号:39929039
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本发明提供一种技术,能够稳定地获取基板处理装置所具有的装置的数据。本公开的基板处理系统具备:基板处理装置,其具有能够利用至少具有一个步骤的制程控制基板的处理的控制部、和能够存储在所述基板的处理中所报告的装置的数据的第一存储部;以及数据管理部...
该专利属于株式会社国际电气所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社国际电气授权不得商用。
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