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基板的处理装置制造方法及图纸
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下载基板的处理装置的技术资料
文档序号:3992220
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本发明提供一种基板的处理装置,具有:上部吹拂器(7),以预定的角度对该基板的上面喷射气体,并且在长度方向中途部设置有上部钩(31);下部吹拂器(8),以预定的角度对该基板的下面喷射气体,并且在长度方向中途部设置有下部钩(35);上部支撑部件...
该专利属于芝浦机械电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过芝浦机械电子株式会社授权不得商用。
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