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江西省智成测控技术研究所有限责任公司
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一种基于三明治式的容栅式角度传感器制造技术
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下载一种基于三明治式的容栅式角度传感器的技术资料
文档序号:39900695
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本发明公开了一种基于三明治式的容栅式角度传感器,包括以三明治形式布置的精测极定栅
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该专利属于江西省智成测控技术研究所有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过江西省智成测控技术研究所有限责任公司授权不得商用。
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