下载一种可自清理的半导体芯片检测用定位装置的技术资料

文档序号:39874851

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本发明公开了一种可自清理的半导体芯片检测用定位装置,涉及半导体芯片检测技术领域,旨在解决半导体芯片在检测时容易偏移,影响检测质量,且不能对半导体芯片上的灰尘进行清理的问题,其技术方案要点是:包括底座
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