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本实用新型公开了一种硅晶圆提纯设备，包括反应炉，所述反应炉的外部固定安装有固定壳，且固定壳内部固定安装有加热管，所述加热管的外侧设置有保温壳，且保温壳的底部固定安装有固定盒；所述固定盒的内部移动设置有按压柱。该硅晶圆提纯设备，在按压对应的按...
该专利属于苏州格罗德集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州格罗德集成电路有限公司授权不得商用。

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