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一种对准装置、基板重合装置以及对准方法，在进行基板的对准时进行基板的在周方向的定位，使基板彼此良好地重合。对准装置(60)是对在外周部形成了凹口(99)的基板(S1、S2)进行定位的对准装置(60)，具备载置基板(S1、S2)的基板支承部(...
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