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用于光谱法气体检测的机械调谐式柔性光栅分光装置制造方法及图纸
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下载用于光谱法气体检测的机械调谐式柔性光栅分光装置的技术资料
文档序号:39813730
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一种用于光谱法气体检测的机械调谐式柔性光栅分光装置,包括:活动平台和通过弹性件与之相连的柔性光栅,其中:活动平台与丝杆滑台及步进电机相连以实现位移驱动,柔性光栅的两侧分别设有光学出光端口和光学探测端口
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该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。
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