下载一种碳化硅肖特基二极管结构的技术资料

文档序号:39757203

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本实用新型公开了一种碳化硅肖特基二极管结构,包括碳化硅衬底、第一漂移层、第二漂移层、P型埋层、欧姆接触层和肖特基接触层,第一漂移层设于碳化硅衬底的第一表面,第二漂移层设于第一漂移层上,并具有沟槽结构;P型埋层周期排列埋设于第一漂移层内,并与...
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