下载薄膜的制备装置的技术资料

文档序号:39682455

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本申请提供了一种薄膜的制备装置。该制备装置包括槽体以及第一旋转机构,槽体中用于盛放预定溶液;第一旋转机构至少在预定平面旋转,以抓取基板并将基板放入槽体中,以使得基板的预定表面浸入预定溶液中,预定溶液在预定表面上形成预定溶液对应的薄膜,预定平...
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