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微元件转移方法技术
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文档序号:39679876
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本申请提供了一种微元件转移方法,转移方法包括:控制相变拾取机构靠近供体基板,相变拾取机构包括有相变结构,相变结构至少具有第一状态和第二状态,相变结构在第二状态下呈橡胶态,且自身弹性高于第一状态下的相变结构,供体基板上设有待转移元件;调节相变...
该专利属于香港科技大学(广州)所有,仅供学习研究参考,未经过香港科技大学(广州)授权不得商用。
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