下载微元件转移方法的技术资料

文档序号:39679876

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请提供了一种微元件转移方法,转移方法包括:控制相变拾取机构靠近供体基板,相变拾取机构包括有相变结构,相变结构至少具有第一状态和第二状态,相变结构在第二状态下呈橡胶态,且自身弹性高于第一状态下的相变结构,供体基板上设有待转移元件;调节相变...
该专利属于香港科技大学(广州)所有,仅供学习研究参考,未经过香港科技大学(广州)授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。