下载一种基于径向跳动量在位监测的永磁半球端抛光头粘接工艺方法的技术资料

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本发明提供一种基于径向跳动量在位监测的永磁半球端抛光头粘接工艺方法,涉及超精密加工技术领域,为解决现有方法得到的永磁半球端抛光头的径向跳动量过高,无法适用于高精度抛光加工的问题
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该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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