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本发明提供了一种图像传感器件及其制造方法,包括:衬底;深槽隔离结构,部分设置在衬底中;电子发射层,部分电子发射层设置在相邻的深槽隔离结构之间,且电子发射层覆盖深槽隔离结构的侧壁和衬底的表面,另一部分电子发射层设置在深槽隔离结构上;电子接收层...该专利属于合肥晶合集成电路股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥晶合集成电路股份有限公司授权不得商用。
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