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本发明涉及一种基于光声作用的可视化芯片超声定点清洗设备，皮秒激光系统产生脉冲激光，通过同轴光路聚焦使芯片本身或者吸收体产生振荡；同轴光路照明系统将照明光源发出的光束进行准直，准直后的光束两次通过分束镜与皮秒激光光路重合，最终为
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该专利属于山东省科学院激光研究所所有，仅供学习研究参考，未经过山东省科学院激光研究所授权不得商用。

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