专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
阿基里斯株式会社
>
半导体晶圆搬运容器制造技术
>技术资料下载
下载半导体晶圆搬运容器的技术资料
文档序号:39639898
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
半导体晶圆搬运容器(1)包括:容器主体(10),一端具有开口部(11),另一端具有与开口部(11)对向且重叠收容晶圆的搭载部(12);以及盖体(20),堵住开口部(11)。容器主体(10)包括:多个圆弧状的主体侧壁部(14),划分收容部(1...
该专利属于阿基里斯株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过阿基里斯株式会社授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。