下载一种晶体硅太阳电池工业化生产工艺的技术资料

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一种晶体硅太阳电池工业化生产工艺,选取硅片,依次进行前表面制绒、磷扩散、去除磷扩散时表面形成的磷硅玻璃和前表面PECVD沉积氮化硅后,将带有前表面氮化硅减反射膜保护的硅片置于加热的碱液中进行背面抛光处理除去背面的扩散层,然后经清洗烘干后采用...
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