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本实用新型公开了一种组合式检测载台和侧边检测系统，组合式检测载台包括底座以及安装在底座上的支撑载台和辅助载台，辅助载台设置在支撑载台的一侧，待测产品置于支撑载台上；辅助载台包括相连的第一载台本体和升降模组，升降模组带动第一载台本体沿支撑载台...
该专利属于北京精测半导体装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京精测半导体装备有限公司授权不得商用。

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