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本实用新型公开了一种用于碳化硅衬底片自动清洗装置，包括清洗箱，所述清洗箱的内部表面均开设有孔槽，所述清洗箱的内部设置有第一驱动电机；该一种用于碳化硅衬底片自动清洗装置，通过清洗箱、电动滑轨、电动滑块、第二驱动电机和旋转刷的设置，当对碳化硅衬...
该专利属于扬帆半导体（江苏）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过扬帆半导体（江苏）有限公司授权不得商用。

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