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本发明涉及一种MEMS致动器，其包括框架结构和至少一个致动器臂。致动器臂在第一端连接到框架结构并且在第二端连接到致动器本体。MEMS致动器的特征在于至少一个致动器臂具有包括两个或更多个致动器部分的曲折结构。两个或更多个致动器部分基本上垂直于...
该专利属于哈恩-席卡德应用研究学会所有，仅供学习研究参考，未经过哈恩-席卡德应用研究学会授权不得商用。

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