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基板处理装置包含：载体保持部，其保持载体；第一处理单元组；第二处理单元组；第一虚拟基板收容部；第二虚拟基板收容部；基板载置部；第一搬运单元，其在第一处理单元与基板载置部之间搬运基板，并在第一处理单元与第一虚拟基板收容部之间搬运虚拟基板；第二...
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