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本发明属于硬脆晶体材料超精密加工领域，涉及一种用于检测蓝宝石基片表面层损伤的腐蚀剂。该腐蚀剂由硫氰酸（ＨＣＮＳ），浓硫酸（Ｈ２ＳＯ４）和浓磷酸（Ｈ３ＰＯ４）混合而成，各成分所占体积百分比为：硫氰酸２０－２５％，浓硫酸５５－６０％，浓磷酸１５...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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