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本发明公开了一种大尺寸电池制绒设备及方法，包括：氧化单元用于采用臭氧对硅片进行氧化处理，获得二氧化硅氧化层；第一次酸洗单元用于采用氢氟酸药液对硅片上的二氧化硅氧化层进行清洗；预处理单元用于采用氢氧化钠药液对硅片进行粗抛和预清洗；制绒单元用于...
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