下载一种清洗排片设备的技术资料

文档序号:39490726

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本发明公开了一种清洗排片设备,包括机台,所述机台两侧分别布置有满料玻璃基板库和满料托盘库;所述机台于满料玻璃基板库和满料托盘库之间设置有六工位清洗组件;所述满料玻璃基板库输出端设置有棱镜顶升平台;所述棱镜顶升平台输出端设置有空料玻璃基板库;...
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