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本发明公开了一种直线电机驱动的气悬浮运动平台，解决了现有运动平台存在的结构刚度低，动态响应慢的问题。包括纵截面为山字形的花岗岩基座（１），在左、中、右三个承重台上方设置有Ｙ轴运动平台（５），在Ｙ轴运动平台（５）的下表面的左、中、右位置均分别...该专利属于中国电子科技集团公司第二研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第二研究所授权不得商用。
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本发明公开了一种直线电机驱动的气悬浮运动平台，解决了现有运动平台存在的结构刚度低，动态响应慢的问题。包括纵截面为山字形的花岗岩基座（１），在左、中、右三个承重台上方设置有Ｙ轴运动平台（５），在Ｙ轴运动平台（５）的下表面的左、中、右位置均分别...