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本实用新型涉及一种移载设备及晶圆测量系统，移载设备包括视觉装置及移载装置，其中：视觉装置包括用于拍摄形成图像信息的摄像机，摄像机拍摄的图像信息能够用于确定陶瓷盘的圆心；移载装置包括移动组件及设置于移动组件的旋转组件，移动组件用于带动旋转组件...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。

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