温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请涉及一种过滤装置及镀膜系统，壳体内形成有反应腔，壳体上开设有进气口及出气口。第一导流组件及第二导流组件均设置于反应腔内，并沿气流的流动方向交替间隔设置。在气流的流动方向上，第一过滤板的正投影及第二过滤板的正投影不重叠。尾气通过第一过滤...
该专利属于江苏微导纳米科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏微导纳米科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。