下载一种半导体用钽粉的氢气还原降氧方法的技术资料

文档序号:39431929

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本发明提供一种半导体用钽粉的氢气还原降氧方法,所述氢气还原降氧方法包括如下步骤:(1)钽锭置于氢化炉里抽真空后,充入氢气升温至600℃~700℃,待炉内压力不再下降后,停止加热,得到氢化后的钽锭;(2)所述氢化后的钽锭依次经破碎和分级,得到...
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