下载基于衍射效应的缺陷检测系统、调节方法和图像处理方法的技术资料

文档序号:39431795

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本发明涉及一种基于衍射效应的缺陷检测系统、调节方法和图像处理方法,包括:激光器,所述激光器发射激光;扩束组件,所述扩束组件对激光进行扩束,获得预设尺寸的光束,所述预设尺寸的光束照射在待测物体上;相机,所述相机采集激光经待测物体调制后的图像;...
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