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本发明涉及一种双侧或单侧加工机，具有优选环形的借助于旋转驱动器能相对于彼此旋转地被驱动的第一工作盘和支座元件，在第一工作盘和支座元件之间形成优选环形的工作间隙，以用于双侧或单侧地加工扁平的工件、优选晶片，双侧或单侧加工机包括多个传感器，其在...
该专利属于莱玛特所有，仅供学习研究参考，未经过莱玛特授权不得商用。

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