下载一种半导体堆垛机的机械臂及存取方法的技术资料

文档序号:39428076

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本申请提供一种半导体堆垛机的机械臂及存取方法,应用于半导体存储立库技术领域;其中机械臂包括存取盘,存取盘上安装有用于直接可读取对应晶圆盒信息的
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