下载用于基板处理设备的多维传感器数据的整体分析的技术资料

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一种方法,包括由处理装置接收第一数据。第一数据包括来自处理腔室的一个或多个传感器的数据并且与处理操作相关联。第一数据在至少两个维度上被解析,其中一个是时间。所述方法进一步包括向模型提供第一数据。所述方法进一步包括从模型接收第二数据。第二数据...
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