专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
应用材料公司
>
用于基板处理设备的多维传感器数据的整体分析制造技术
>技术资料下载
下载用于基板处理设备的多维传感器数据的整体分析的技术资料
文档序号:39426338
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种方法,包括由处理装置接收第一数据。第一数据包括来自处理腔室的一个或多个传感器的数据并且与处理操作相关联。第一数据在至少两个维度上被解析,其中一个是时间。所述方法进一步包括向模型提供第一数据。所述方法进一步包括从模型接收第二数据。第二数据...
该专利属于应用材料公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。