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一种夹持式晶圆打磨用的拿取装置制造方法及图纸
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下载一种夹持式晶圆打磨用的拿取装置的技术资料
文档序号:39419103
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本发明涉及一种晶圆拿取装置。本发明涉及一种夹持式晶圆打磨用的拿取装置。其包括固定装置和设置于固定装置底部的夹持装置,固定装置包括固定机构,固定机构包括固定筒,固定筒的底部固定连接有固定架,夹持装置包括夹持机构。本发明在拿取晶圆时,液压杆带动...
该专利属于江苏盟星智能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏盟星智能科技有限公司授权不得商用。
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