下载一种夹持式晶圆打磨用的拿取装置的技术资料

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本发明涉及一种晶圆拿取装置。本发明涉及一种夹持式晶圆打磨用的拿取装置。其包括固定装置和设置于固定装置底部的夹持装置,固定装置包括固定机构,固定机构包括固定筒,固定筒的底部固定连接有固定架,夹持装置包括夹持机构。本发明在拿取晶圆时,液压杆带动...
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