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本公开提供一种探针设备。该探针设备包括一平台；一机械手臂，设置在该平台上并具有一探针；以及一测试装置，设置在该平台上。该测试装置包括一插槽，具有容纳一待测元件的一腔室；以及一盖体，设置在该插槽上。该插槽包含一导热材料。该盖体包括一盘体；一电...
该专利属于南亚科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南亚科技股份有限公司授权不得商用。

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