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本发明属于真空沉积设备维修技术领域，涉及一种用于薄膜沉积治具的清洁装置，包括真空腔体、清洁台、机械泵、分子泵、真空阀、清洁气贮罐、干燥气贮罐，真空腔体内设置清洁台，清洁台用于放置待清洁的薄膜沉积治具。本发明还涉及一种用于薄膜沉积治具的清洁方...
该专利属于西安立芯光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安立芯光电科技有限公司授权不得商用。

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