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本实用新型提供了一种半导体设备，包括反应腔室、冷却气源、气动控制阀及电磁控制器。所述冷却气源通过管道连通所述反应腔室，用于为所述反应腔室提供冷却气体冷却晶圆，所述气动控制阀位于所述管道上，用于控制所述管道的通断，所述电磁控制器连接所述气动控...
该专利属于粤芯半导体技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过粤芯半导体技术股份有限公司授权不得商用。

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