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一种晶圆载盒的上料转换装置及其形成的载盒存储库制造方法及图纸
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下载一种晶圆载盒的上料转换装置及其形成的载盒存储库的技术资料
文档序号:39354221
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本实用新型公开了一种晶圆载盒的上料转换装置,包括:上料基座,包括固定块和识别组件,所述识别组件包括用于对晶圆载盒进行扫描的感应器;所述固定块用于固定所述晶圆载盒,且所述固定块能够沿着上料基座进行滑动;防护组件,覆盖在所述上料基座的外侧,包括...
该专利属于上海广川科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海广川科技有限公司授权不得商用。
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