温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型属于晶圆搬运技术领域，公开了一种搬运机械手及晶圆传送装置。搬运机械手用于晶圆搬运，其包括真空手指、定位块以及限位件。真空手指具有用于与机械臂连接的第一端和与第一端相对的第二端，第一端和第二端之间依次间隔分布有多个限位区域；定位块固...
该专利属于无锡邑文微电子科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡邑文微电子科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。