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本实用新型公开了一种堆叠式石墨舟及管式PECVD反应室，包括：绝缘连接座、第一石墨舟和第二石墨舟；所述绝缘连接座分别设置在第一石墨舟和第二石墨舟的两端，用于实现第一石墨舟和第二石墨舟沿竖直方向堆叠连接。本实用新型还公开了包含上述堆叠式石墨舟...
该专利属于湖南红太阳光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南红太阳光电科技有限公司授权不得商用。

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