下载一种铜银合金薄膜及其制备方法与应用的技术资料

文档序号:39330091

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本发明提供了一种铜银合金薄膜及其制备方法与应用,涉及薄膜材料技术领域。该方法通过磁控溅射聚焦共沉积方法制备铜银多层膜,薄膜铜元素与银元素沿薄膜厚度方向呈连续周期性变化。该多层膜的厚度可以通过沉积时间控制,靶功率与样品台转速的改变可制得不同调...
该专利属于湖南大学所有,仅供学习研究参考,未经过湖南大学授权不得商用。

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