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一种提高355nmUV窗片抛光基底抗损伤能力的加工方法技术
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下载一种提高355nmUV窗片抛光基底抗损伤能力的加工方法的技术资料
文档序号:39323501
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一种提高355nmUV窗片抛光基底抗损伤能力的加工方法,在于设定粗磨、精磨等加工程序,分析各工序的辅料可能造成的亚损伤层程度,在后工序定量去除尺寸,消除前工序在加工产生的亚损伤,从而逐步实现对光学器件的加工;精抛后表面用酸进行微处理,将前者...
该专利属于福建福晶科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福建福晶科技股份有限公司授权不得商用。
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